Индуктивно связанная плазма травление - Реактивное ионное травление с источником индуктивно

Плазменные технологии широко используются в сфере микроэлектроники как оптимальная альтернатива изжившим себя методам жидкостного травления. Плазменное травление относится к так называемым сухим методикам нанесения тонких пленок на подложку и размерного травления пленок с заданными параметрами. Технология основана на однотипных химических реакциях между свободными атомами, радикалами и поверхностными атомами материала подложки под воздействием ионов, электронов и излучения плазмы. Объект располагают в области химически активной плазмы.

Реактивное ионное травление InP/InGaAsP (с ICP) для волноводов

Небольшая установка плазмохимического травления c вакуумным шлюзом промышленного назначения. Установка может использоваться для любых процессов плазмохимического травления с использованием фторных газов и кислорода. Настольная, лабораторная, базовая модель. Может использоваться для любых процессов с применением фторных газов и кислорода.

Метод основан на использовании индуктивно-связанной плазмы в качестве источника ионов и масс-спектрометра для их разделения и детектирования. ИСП-МС также позволяет проводить изотопный анализ выбранного иона. Источник: Википедия. Ру — Карта слов и выражений русского языка Научи бота! Игра в ассоциации Моя карта.

Показано 11 страниц из 11, находящихся в данной категории. Список ниже может не отражать последних изменений. Материал из Википедии — свободной энциклопедии. Основная статья: Плазменная обработка. Страницы в категории «Плазменная обработка» Показано 11 страниц из 11, находящихся в данной категории.

Похожие статьи

• Что можно связать из пряжи помпоны - Плед для новорожденного из пряжи с помпонами / Хенд
• Как крючком связать петельку - Вязание для начинающих - как связать игрушки крючком (фото)
• Можно ли кукурузную кашу ребенку в год - Детские каши. Каши в рационе детей. Как варить кашу ребенку
• Одежда для беби бона связать